等离子清洗机的风险辨识及管控措施

发表时间： 2020-10-12 09:51:42

作者：张维克

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等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，通过对气体施加足够的能量，使之离化成等离子状态。依靠等离子体中活性离子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。等离子清洗机外接一台真空泵，工作时清洗腔内的等离子体轻柔的冲刷被清洗物表面，短时间的清洗可以使有机污染物被彻底的清洗掉，同时污染物被真空泵抽走，清洗程度能达到分子级。有效避免了因液体清洗介质对清洗物带来的二次污染。

工作原理：

等离子清洗机采用气体作为清洗介质，通过化学反应或物理反应，达到清洗目的。

（1）化学反应

在化学反应里常用的气体有氢气（H₂）、氧气（O₂）、甲烷（CH₄）等，其反应机理主要是利用等离子体里的自由基与材料表面做化学反应。下图为氧等离子体去除有机物的反应过程。

（2）物理反应

常见的气体为氩气，氩离子在自偏压或外加偏压作用下，被加速产生动能，轰击放在负电极上的被清洗工件表面，一般用于去除氧化物、环氧树脂或者微颗粒污染物，同时进行表面能活化。反应过程如下：

风险辨识如下：

（1）清洗介质的泄漏风险

清洗介质一般为气体，常使用气瓶，通过管道送至设备使用，如果发生气瓶或送气管道、用气设备的泄漏，可能会发生事故，如果使用氢气、甲烷等易燃易爆气体，室内有明火、静电等可能发生火灾、爆炸事故；如果使用氩气，室内通风不良，可能发生窒息事故；如果使用氧气，氧气属于氧化性气体，会增加可燃物的易燃性，如果室内氧气浓度过高，可能会发生火灾事故。

（2）设备触电风险

1）电气设施线路绝缘因击穿、老化、腐蚀、机械损坏等失效。

2）未装设漏电保护装置或漏电保护装置失效。

管控措施：

（1）防火、防爆、防窒息措施

1）规范气瓶使用，气瓶附件应齐全，并采取防止倾倒的措施。气瓶应定期检测，确保在有效期内。供气管道与用气设备连接牢固。

2）如使用氧气，气瓶阀、接头、减压器、软管及设备必须与油、润滑脂及其它可燃物或爆炸物相隔离。严禁用沾有油污的手、或带有油迹的手套去触碰氧气瓶或氧气设备。如使用氢气，建议在使用设备附近设置氢气泄漏报警器。

3）保持室内通风良好，通风不良的应加装机械排风。

（2）防触电措施

设备应接地，电源线无破损、老化现象。

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